Taula de continguts
7 les relacions: Aïllament de rases superficials, Diòxid de silici, Microfabricació, Model Deal–Grove, MOSFET, Oblia (electrònica), Oxidació tèrmica.
Aïllament de rases superficials
El procés de fabricació d'aïllament de rases poc profundes de circuits integrats moderns en seccions transversals. L'aïllament de rases superficials (amb acrònim anglès STI), també coneguda com a tècnica d'aïllament de caixa, és una característica del circuit integrat que evita la fuita de corrent elèctric entre els components del dispositiu semiconductors adjacents.
Veure LOCOS і Aïllament de rases superficials
Diòxid de silici
El compost químic conegut com a diòxid de silici o sílice és l'òxid de silici, amb fórmula química SiO₂, que es troba més freqüentment a la natura com el quars i en diversos organismes vius.
Veure LOCOS і Diòxid de silici
Microfabricació
Il·lustració simplificada del procés de fabricació d'un inversor CMOS sobre substrat tipus p en microfabricació de semiconductors. Cada pas de gravat es detalla a la imatge següent. Nota: els contactes de la porta, la font i el drenatge no es troben normalment al mateix pla en dispositius reals i els diagrames no estan a escala.
Veure LOCOS і Microfabricació
Model Deal–Grove
Diagrama amb les 3 fases. El model Deal-Grove descriu matemàticament el creixement d'una capa d'òxid a la superfície d'un material.
Veure LOCOS і Model Deal–Grove
MOSFET
autor.
Veure LOCOS і MOSFET
Oblia (electrònica)
Una oblia de silici gravada En microelectrònica, una oblia és una fina planxa de material semiconductor, com per exemple cristall de silici, sobre la qual es construeixen microcircuits mitjançant tècniques de dopat (per exemple, difusió o implantació d'ions), gravat químic i deposició de diversos materials.
Veure LOCOS і Oblia (electrònica)
Oxidació tèrmica
Màquina que s'empra per a l'oxidació tèrmica. En la microfabricació, l'oxidació tèrmica és una manera de produir una fina capa d'òxid (generalment diòxid de silici) a la superfície d'una oblia.
Veure LOCOS і Oxidació tèrmica

