Taula de continguts
3 les relacions: Electró, Litografia amb feix d'electrons, Nanòmetre.
Electró
L'electró (e− o β−) és una partícula subatòmica amb una càrrega elèctrica elemental negativa.
Veure Efecte de proximitat (litografia de feix d'electrons) і Electró
Litografia amb feix d'electrons
Un exemple de configuració de litografia de feix d'electrons. '''Costura de camp.''' La costura és una preocupació per a les característiques crítiques que creuen el límit d'un camp (línia de punts vermella). La litografia amb feix d'electrons (sovint abreujada com a litografia e-beam, EBL) és la pràctica d'escanejar un feix d'electrons enfocat per dibuixar formes personalitzades sobre una superfície coberta amb una pel·lícula sensible als electrons anomenada resistència (exposició).
Veure Efecte de proximitat (litografia de feix d'electrons) і Litografia amb feix d'electrons
Nanòmetre
Un nanòmetre (símbol nm) equival a 10-9 metres.
Veure Efecte de proximitat (litografia de feix d'electrons) і Nanòmetre